Utjecaj statičkih čimbenika na pakiranje IC-a
S kontinuiranim i stalnim rastom kineske nacionalne ekonomije i stalnim inovacijama i razvojem proizvodne tehnologije, proizvodni proces ima sve veće i veće zahtjeve za proizvodnim okruženjem. Procesi u proizvodnji velikih i ultra velikih razmjera Ic postavljaju veće zahtjeve u proizvodnom okruženju, ne samo radi održavanja određene temperature, vlažnosti, čistoće, već i dovoljne pozornosti na elektrostatičku zaštitu.
Kao što svi znamo, industrija ambalaže spada u nizvodni proizvodni proces u cijeloj proizvodnji IC-a. U ovom procesu, kod plastičnih IC-ova, hibridnih IC-ova ili monolitnih IC-a, uglavnom se radi o prorjeđivanju vafla (brušenje), rezanju vafla (dicing), gornjoj jezgri (ljepljive ploče), tlačnom zavarivanju (vezivanju), enkapsulaciji (enkapsulaciji), predtaljenju , galvanizacija, tiskanje, naknadno sušenje, rezanje, punjenje cijevi, ispitivanje nakon pečaćenja itd. Svaki proces ima različite zahtjeve za različita procesna okruženja.
Utjecaj statičkih čimbenika na pakiranje IC-a
Prvo, uzrok statičkog elektriciteta je svugdje. Danas, uz nagli razvoj tehnologije i visok stupanj automatizacije industrijske proizvodnje, šteta od statičkog elektriciteta u industrijskoj proizvodnji već je očita. To može uzrokovati razne prepreke, ograničiti poboljšanje razine automatizacije i utjecati na kvalitetu proizvoda. Ovdje, u kombinaciji sa stvarnom situacijom naše tvornice u integriranom krugu pakiranja i proizvodnog procesa, objasniti razlog nastanka statičkog elektriciteta, tu su uglavnom sljedeći razlozi.
1. Materijali visoke otpornosti koriste se u građevinskim i dekorativnim materijalima proizvodne radionice. Proces proizvodnje IC-a zahtijeva uporabu čistih radionica ili ultra-čistih radionica.
Potrebno je da se veličina čestica čestica koje se uklanjaju prašine mijenjaju od konvencionalnih 0,3 μm do 0,1 μm, a gustoća čestica prašine je oko 353 / m3. U tu svrhu, osim ugradnje raznih uređaja za vakuumiranje, također se upotrebljavaju neorganski i organski materijali koji ne prašuju kako bi se spriječilo zaprašivanje. Međutim, električna svojstva građevinskog materijala se ne uzimaju u obzir kao pokazatelj. Također ne postoje odredbe u projektnim specifikacijama za industrijska postrojenja. Unutarnje uređenje materijala koji se koriste u čistoj tvornici IC tvornice su: poliuretanski elastični pod, najlon, tvrda plastika, polietilen, plastične tapete, smola, drvo, bijeli porculan, emajl, gips i tako dalje. Većina gore navedenih materijala su polimerni spojevi ili izolatori. Na primjer, otpornost na vitrinit iznosi 1012 do 1014 cm / cm, a polietilenska otpornost je 1013 do 1015 cm / cm, tako da je električna vodljivost relativno slaba. Iz nekog razloga, statički elektricitet ne prolazi lako kroz zemlju kroz njih, što uzrokuje nakupljanje statičkog elektriciteta.
2, tijelo je statično
Različiti postupci operatera čiste biljke i kretanja naprijed-natrag, đona i tla stalno su u bliskom kontaktu i razdvajanju, a različiti dijelovi ljudskog tijela također imaju aktivnosti i trenje. Bilo da je hodanje brzo ili sporo, kasač će generirati statički elektricitet, koji se naziva hodanje i punjenje; Statički elektricitet se također stvara kada se radna odjeća koju nosi ljudsko tijelo odvaja od površine stolice. Ako se statički napon ljudskog tijela ne može ukloniti, a IC čip dotakne, IC se nesvjesno može slomiti.
3. Statički elektricitet uzrokovan klimatizacijom i pročišćavanjem zraka
Budući da se zahtjevi za proizvodnju IC-a provode u uvjetima 45-55% RH, potrebno je klimatiziranje i potrebno je pročišćavanje zraka. Odvlaženi zrak se šalje u čistu prostoriju putem primarnog filtra, filtra srednje učinkovitosti, filtra visoke učinkovitosti i zračnog kanala. Općenito, ukupna brzina vjetra zračnog kanala je 8 ~ 10m / s, a unutarnja stijenka zračnog kanala je obojena. Kada se suhi zrak i zračni kanal, suhi zrak i filtar pomiču jedan u odnosu na drugi, stvara se statički elektricitet. Treba napomenuti da statički elektricitet ima relativno osjetljiv odnos s vlagom.
Osim toga, transport poluproizvoda i IC proizvoda će generirati statički elektricitet tijekom pakiranja i transporta, što je jedan od čimbenika elektrostatičkog punjenja.
Drugo, šteta od statičkog elektriciteta za IC je prilično velika. Općenito, statički elektricitet ima karakteristike visokog potencijala i jakog električnog polja. U procesu elektrostatske elektrifikacije-pražnjenja ponekad se stvaraju prolazni visokotokovni i elektromagnetski impulsi (EMP), što rezultira širokim spektrom polja elektromagnetskog zračenja.
Osim toga, u usporedbi s konvencionalnom električnom energijom, elektrostatička energija je relativno mala. U procesu prirodnog elektrifikacije-pražnjenja, parametar elektrostatskog pražnjenja (ESD) je nekontroliran i težak je proces koji je teško ponoviti, pa se njegova uloga često koristi od strane ljudi. Zanemaren. Pogotovo u području mikroelektronike, šteta koju nam nanosi je nevjerojatna. To je izvijestio da je izravni ekonomski gubitak uzrokovan statički elektricitet je kao visok kao nekoliko stotina milijuna juana svake godine. Elektrostatička opasnost postala je glavna prepreka razvoju industrije mikroelektronike.
U pogonu za proizvodnju poluvodičkih uređaja, prinos IC-a, posebno integrirani krugovi velikih razmjera (VLSI), uvelike se smanjuje zbog adsorpcije prašine na čipovima. Rukovatelji proizvodnih radionica IC-a nose čiste kombinezone. Ako je ljudsko tijelo napunjeno statičkim elektricitetom, lako ga je apsorbirati prašinu, prljavštinu itd. Ako se ova prašina i prljavština dovedu na mjesto rada, to će utjecati na kvalitetu proizvoda, pogoršati performanse proizvoda i uvelike smanjiti Ic. Prinos. Ako je polumjer adsorbiranih čestica prašine veći od 100 μm, a širina linije oko 100 μm, kada je debljina filma 50 μm, proizvod će najvjerojatnije biti otpisan.
Opet, statičko oštećenje IC-a ima određene karakteristike.
(1) Sakrivanje Ako se ne dogodi elektrostatičko pražnjenje, ljudsko tijelo ne može izravno osjetiti statički elektricitet, ali ljudsko tijelo možda nema osjećaj električnog udara kada se elektrostatički isprazni. To je zbog toga što je napon elektrostatičkog pražnjenja koji opaža ljudsko tijelo 2 ~ 3kv, tako da je statički elektricitet skriven.
(2) Potencijal Ne postoji značajan pad učinkovitosti nekih odvoda nakon elektrostatičkog oštećenja, ali višestruko nakupljanje može uzrokovati unutarnje ozljede IC uređaja i predstavljati skrivenu opasnost. Stoga je šteta od statičkog elektriciteta za IC potencijal.
(3) Pod kojim će okolnostima slučajni IC-ovi pretrpjeti elektrostatičko oštećenje? Može se reći da su svi procesi ugroženi statičkim elektricitetom iz vremena nastanka IC čipa sve dok se ne ošteti, a stvaranje statičkog elektriciteta je slučajno. Njegova je šteta također slučajna.
(4) Analiza oštećenja složenih elektrostatičkih oštećenja je dugotrajna, radno intenzivna i skupa zbog finih, sitnih i malih strukturnih značajki mikroelektroničkih IC proizvoda. Potrebna je visoka tehnologija i često su potrebni vrlo sofisticirani instrumenti. Čak i tako Neke elektrostatičke pojave također se teško razlikuju od oštećenja uzrokovanih drugim uzrocima; ljudi pogrešno smatraju oštećenje elektrostatičkog pražnjenja drugim kvarovima, što se često pripisuje ranom kvaru ili nejasnoj situaciji prije nego što oštećenje elektrostatičkog pražnjenja nije u potpunosti prepoznato. Neuspjeh, tako nesvjesno prikriven pravi uzrok neuspjeha. Stoga je komplicirano analizirati oštećenja statičkog elektriciteta na IC.
Sve u svemu, potrebno je uspostaviti ESD sustav zaštite tijekom obrade i pakiranja IC-ova! Proizvodna linija za pakiranje IC-a ima strože zahtjeve na statički elektricitet. Kako bi se osigurao normalan rad proizvodne linije, cjelokupna dekoracija antistatičkih građevinskih materijala za njegovu čistu tvornicu, te hardverske mjere za sve osobe koje ulaze i izlaze iz čiste tvornice kako bi bile opremljene antistatičkom odjećom, poduzeća za pakiranje mogu se temeljiti na relevantnim nacionalnim standardima i stvarnom stanju poduzeća. Tvrtka je uspostavila standarde poduzeća ili specifične zahtjeve za anti-statičke kako bi zadovoljili normalan rad proizvodne linije za pakiranje IC-a. S širenjem kineske IC linije za pakiranje, povećanjem kapaciteta pakiranja, povećanjem sorti pakiranja i većim zahtjevima za kvalitetom proizvoda i prinosom, sukladno tome, različitim zahtjevima softvera i hardvera te svijesti o statičkoj zaštiti svih zaposlenika Jačanje je još važnije ona igra i djeluje kao "glavna uloga" i "nevidljivi ubojica" koja utječe na kvalitetu naših proizvoda. Dakle, statička zaštita bit će glavni problem u cijeloj industriji i sada iu budućnosti.